檢查用具的自準(zhǔn)直儀是綜合了平行光管和望遠(yuǎn)鏡性能的獨(dú)特裝置，通過自身發(fā)出的平行光來檢測反射鏡表面的角位移。自準(zhǔn)直儀具備非常突出的光學(xué)性能，通過光源照明將分劃板投射到無限遠(yuǎn)，并最終接收經(jīng)平面鏡表面反射回來的分劃板圖像，接收到的反射像經(jīng)物鏡聚焦到電子CCD相機(jī)上激光干涉儀也有測量軌跡，直線度的功能，但是由于測量原理的限制，精度只能勉強(qiáng)達(dá)到0.01mm。
檢查用具所以安裝導(dǎo)軌，測量孔心同心，等等跟直線度有關(guān)的測量，使用線激光+PSD準(zhǔn)直儀，非?？煽?。干涉儀僅僅適用于傳動(dòng)系統(tǒng)的定位精度測量，在直線度，平面度測量方面，要增加很多鏡組，軟件，調(diào)光路也很費(fèi)時(shí)間，得不償失。